一、功能介绍

JEM-F200型场发射透射电子显微镜配备冷场发射电子枪，能达到更高分辨率，同时具备TEM和STEM模式，能够进行HAADF-STEM分析。具有双能谱探头，可以实现快速高精度的EDS分析（点扫、线扫、面扫）。配备BF、DF、SEI/BEI探头，可实现STEM暗场像、明场像、SEI/BEI的同时成像。搭载Gatan的Rio相机，能拍摄到更清晰的高分辨图像。该设备将在材料的形貌拍摄，晶体结构表征，样品元素分析等方面发挥重要作用。

二、设备主要配置

1. 高亮度冷场发射电子枪

2. 加速电压：80kV、200kV

3. TEM、STEM模式

4. 双能谱探头

5. BF、DF、SEI/BEI探头

6. 全自动光阑系统和自动进样功能

7. 样品室荧光屏相机

8. Gatan底插式Rio16相机

三、主要参数

1. TEM模式：

放大倍数：50-20,000,000;

点分辨率：0.23nm@200KV线分辨率：0.10nm@200KV

2. STEM模式：

放大倍数：100-150,000,000

明场像分辨率：0.16nm@200KV 暗场像分辨率：0.16nm@200KV

3. BEI/SEI模式

SEI模式放大倍率：×100-150,000,000

二次电子分辨率：1.0nm（200KV）

4. EDS模式

能量分辨率：优于133eV

元素分析范围：4B至92U

EDS立体角：1.7sr

四、联系方式

仪器放置地点：西山湖园区2号楼103房间

仪器管理员：崔文浩

电子邮箱：cuiwenhao@dicp.ac.cn