能源研究技术平台新购置的聚焦离子束-电子束双束显微镜已经完成安装调试和价格公示，定于4月25日起面向所内外用户开放试运行，试运行时间三个月（4月25日至7月25日），试运行期间所有测试半价收费。请用户登录科研仪器管理系统（IMS）搜索“聚焦离子束-电子束双束显微镜” 进行在线预约。

一、功能介绍

聚焦离子束-电子束双束显微镜能够进行固体样品表面形貌观察，并且能够对材料进行微纳级别的定点加工与表征，实现截面分析成像及透射样品制备等。该设备可广泛应用于金属、半导体、分子筛、 电池、 薄膜等能源催化材料。

二、设备主要功能配置

1. 电子束系统

2. 离子束系统

3. 二次电子/背散射电子探头

4. 气体注入系统：Pt、C等

5. 能谱仪EDS

6. 电子背散射衍射仪EBSD

三、 主要参数

1. 离子源种类：液态Ga离子源

2. 离子源加速电压：0.5kV - 30 kV

3. 束流强度：1pA - 100nA

4. 电子束加速电压：200V - 30kV

5. 电子束流强度：可用范围优于5pA - 20nA

6. 交叉点工作距离：4mm。

四、 联系方式

仪器放置地点：西山湖园区2号楼104房间

仪器管理员：曲江珊

联系电话：18766421826

电子邮箱：jiangshanqu@dicp.ac.cn